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精密和超精密加工技术的新进展（2）

2009年2月1日

5．精密磨削和精密研磨技术的发展
5.1 精密镜面磨削技术的发展
近年来，国外对精密磨削和精密研磨技术的研究开发获得了不少成果和进展。日本国家理化学研究所的大森整教授研制成功了在线修整砂轮的ELID镜面磨削新工艺，可以对多种不同材料如钢、硬质合金、陶瓷、光学玻璃、硅片等零件的平面、外圆和内孔进行镜面磨削。ELID镜面磨削使用特制的铁基结合剂细粒度金刚石或CBN砂轮，在磨削时在线对砂轮进行电解修整，电解修整砂轮用的电解液同时用作磨削液要求这种电解液不腐蚀机床。用EL